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硅片抛光机的两种抛光方式分析

日期:2016-10-11 / 人气:

硅片抛光机如何解决这个矛盾的最好的办法就是把抛光分为两个阶段进行。粗抛目的是去除磨光损伤层,这一阶段应具有最大的抛光速率,粗抛形成的表层损伤是?#25105;?#30340;考虑,不过也应当尽可能小;其次是精抛(或称终抛),其目的是去除粗抛产生的表层损伤,使抛光损伤减到最小。
硅片抛光机不是碾除整体的糠层,是通过碾除细微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉细粒,抛光机抛光和碾白从工作方面比较存在着很大的差别,抛光机抛光压力很低,抛光机抛光米粒的时候流体密度很小,抛光时米粒离开铁辊的速度很快,而且抛光机单位产量抛光运动面积很大。


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